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主题：【求助】关于E-1010离子溅射仪的问题

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发表于：2013/09/13 15:54:57 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
（1）在较长时间抽真空后，日立E-1010离子溅射仪的泵中的油大量进入样品室，然后漏进仪器里面，求原因？

（2）仪器里面的油无法全部清理干净，继续进行喷镀，会有危险吗？
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小不董
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2013/9/13 16:21:27 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
危险的， 怎么可能让油进去了呢？
溅射仪中要避免有机溶剂的，油也是易燃的呀，在放电的时候很危险的，虽然抽了真空，若你补充了惰性气体的才会危险小一点。
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小不董
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2013/9/13 16:23:43 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
泵坏了？看来要拆开才能把油清理干净了？
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2013/9/13 17:01:48 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
多谢！另外一同事用的时候出现的，也不知道原因。我确实不敢用。
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fengyonghe
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2013/9/14 16:18:42 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
当停止抽气之后，泵的进气端是真空，出气端是大气压力。泵的设计上有单向阀用以防止油被吸入真空室。如果单向阀损坏，停机之后油就会被吸入真空室。讲究的设备会在关闭阀门和泵的进气端另外再加一个泄气阀。该阀门在停机之后手动打开，使泵的进气端和出气端同处于一个大气压，有效的防止了油被吸入真空室。
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博远微纳
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2016/11/15 17:03:32 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
博远微纳（中国）有限公司  创立于2004年，共有员工20余人，其中高级工程师8人，研发团队7人，是中国区第一家专注于研发、生产、销售溅射仪及扫描电镜的高新技术企业。公司集溅射仪，镀膜仪，扫描电镜，维护改造四位一体，拥有一支专业的工程师团队，并将溅射仪、镀膜仪系列产品的质量和性能提高到国际一流的水准。在过去的10多年间，博远微纳单在中国区已销售、服务超过1000位商业客户，累积销售近千台溅射仪、镀膜仪和扫描电镜等配套服务。

据相关资料统计，博远微纳单在中国大陆的市场份额已经达到30%以上。国际市场情况请联系公司国际销售顾问。

公司以严格的质量保证体系（公司认证ISO: 9001，产品符合欧盟CE标准，部分认证危险化学品及美国质量认证），一流的服务标准，领先的生产技术，精湛的制造工艺，按照客户需求设计、制造、生产各类行溅射仪、镀膜仪、扫描电子显微镜等系列产品。
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