热电分子涡轮泵不工作_仪器信息网社区

tutm

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2013/9/21 12:28:57 11楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 心随逸动(v2751344) 发表:
分子涡轮泵不工作的话，真空度怎么会有48mTorr？

要不你试下，打开DSQ II Tune软件，点Instrument--startup，手动启动分子涡轮泵

48毫托大约相当于6Pa，正常的旋片真空泵是能达到的。好的这种泵应该能达到1Pa以下。

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千层峰

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2013/9/21 15:22:25 12楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

检查是否启动电容烧了。

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悠旸

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2013/9/21 16:52:57 13楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

分子泵控制器和直流电源也是值得怀疑的地方，不知道24V有没有加上

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安平

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2013/9/21 21:24:50 14楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

硬件问题可能性比较大。

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tyk000

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2013/9/22 14:58:40 15楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 ruan651209(ruan651209) 发表:
前级真空48，基本不是漏气原因。

估计问题大了，也可能就接触不良。

能重启的都重启一试。

是的，确实属于接触不良

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ruan651209

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2013/9/22 19:26:33 16楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 tyk000(tyk000) 是的，确实属于接触不良

愿闻其祥

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2013/9/22 19:27:09 Last edit by ruan651209

ruan651209

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2013/9/22 19:29:24 17楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 tutm(tutm) 发表:
48毫托大约相当于6Pa，正常的旋片真空泵是能达到的。好的这种泵应该能达到1Pa以下。

好象能到，因为分子泵减速下来，前级基本这个值附近。

BUT，前级真空数百MTORR时，分子泵照理就该启动。

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千层峰

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2013/9/23 9:38:04 18楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 tyk000(tyk000) 发表:
原文由 ruan651209(ruan651209) 发表:
前级真空48，基本不是漏气原因。

估计问题大了，也可能就接触不良。

能重启的都重启一试。
是的，确实属于接触不良

确认接触不良，那就把接触不良的地方修一下就是了。

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steven

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2013/9/23 16:02:31 19楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

分子泵，只要叶片能转，没卡死，一般就是没有问题的。

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lostking2008

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2015/2/15 8:51:54 20楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

怎么解决的最后？

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主题：【求助】热电分子涡轮泵不工作