原文由 gsys(v2664607) 发表:
如果你要准确测量2nm的薄膜厚度,用扫描电镜不确定度会较大,至于“不确定度”怎么确定这个问题,建议你去看看不确定度评定的书,简单地说不确定度就是你以前所谓的误差,只是系统考虑了多个因素。
再说钨灯丝分辨率也不至于到10nm那么差,现在很多扫描电镜标称分辨率达到0.8nm(二次电子像,30kV).测量厚度没有问题,只是误差会偏大。所以我建议你做10nm的厚膜,看看扫描电镜测量结果与镀膜仪测量结果之间相差有多大,你就会对2nm的薄膜镀膜仪测量结果误差有个概念了。