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主题：[help]用何种机台量测EPI的厚度

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sinfasam
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发表于：2006/07/31 16:33:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
Sub(硅衬底)+EPI，期间注入NBL．现要测量EPI的厚度．层次之间很难看出明显的界限．请问，用什么机台可以测量得出EPI的厚度呢？
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2006/8/8 12:15:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
怎么到现在都没人反应的啊！！！
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2006/8/8 12:29:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
超声波测厚仪应该可以测
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2006/8/10 16:49:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
厚度是微米级别的，也可以吗？
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