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主题：【求助】点扫光斑大小

浏览0 回复2 电梯直达
八月屠城
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发表于：2014/06/17 17:17:08 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
想到一个问题，各位点扫打能谱的时候光斑一般多大？

望大家不吝赐教！
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2014/6/17 19:25:26 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
在尺寸范围内，根据计数率和死时间来决定

一般设定几个nm左右的束斑，但是实际是会扩展到十几个nm甚至更大
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八月屠城
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2014/6/18 8:17:27 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 洪星二锅头(coime) 发表:
在尺寸范围内，根据计数率和死时间来决定

一般设定几个nm左右的束斑，但是实际是会扩展到十几个nm甚至更大


恩，我用F30做的时候都快30nm了，所以想知道大家一般能达到多小。
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