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主题：【求助】用STEM做EDX的时候得到的counts数太少

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easy周周
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发表于：2014/06/24 19:09:25 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
想做个EDX mapping， 但是样品比较大直径在150nm， probe size 是0.5 nm 如果扫很多点的话 需要几个小时， 但是如果选少量的点有很多样品有没有扫到，采集时间如果过长3s以上会使样品打穿，但是依旧得到的counts数不够。 还没有试过defocus或者增大convergence angle 把probe size变大，这样的话分辨率会变差但是得到信号会多么？还是可以用其他什么方法？ 大牛们请指点下。
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coime
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2014/6/25 8:25:12 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
要改变计数率，需改变convergence angle  α和 spot size，而如defocus，改变焦距，同样使得照在样品上的束斑尺寸发生改变，建议还是使用spot size比较好
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penguinle
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2014/6/25 9:13:19 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
加大condenser aperture，加大spot size，如有需要向探头倾转样品
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大布口袋
taboo
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2014/6/25 9:32:35 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
最极端的做饭 可以再提高Extraction Voltage
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easy周周
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2014/6/25 18:38:56 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
忘了说了用的电镜是FEI Titan，已经提高了Extraction Voltage 在4200吧有点记不清了，然后用的spot size是3 束流应该是最大的了，然后样品已经倾转了。。我用的是他们这边人已经合轴好的设置比较方便，是不是只能自己用microprobe去调α角了，然后再自己合合轴了。
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wjianna
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2014/7/10 11:23:50 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
楼主的问题我有同感！我的感觉，增大计数率最有效的是改变spot增强信号，但是，spot增大了相差也增加，电子束斑直径也增大了，EDS的空间分辨率要受到影响，如何调和这几方面的矛盾？
还有就是电子束损伤，我发现即使在无机非金属上也是一打一个洞！
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