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主题：【问】关于溅射理论？

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feiliao
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发表于：2006/09/02 11:32:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用Ar等离子体溅射碳靶后，被溅射出来的碳主要以何种形式存在？

是碳离子，碳原子还是碳分子？

谢谢！
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2006/9/2 18:50:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 feiliao 发表:
用Ar等离子体溅射碳靶后，被溅射出来的碳主要以何种形式存在？

是碳离子，碳原子还是碳分子？

谢谢！

是碳离子和碳原子，碳分子不可能存在。
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feiliao
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2006/9/2 20:30:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那是离子占主要地位还是原子占主要地位，比如说施加偏压时的影响。
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butterfly_xu
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2006/9/7 15:39:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是碳原子，我记得《材料的界面与表面》中有介绍。
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手机版： 【问】关于溅射理论？
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