原文由 nemobhsj(nemobhsj) 发表:非常感谢!
无论是SEM, TEM或FIB,都对低频振动有严格的要求。这是因为这些仪器中已经自带了空气弹簧,可以过滤到高频的振动,但却无法过滤低频的振动。因此这些设备如果遇到场地振动问题,都是低频振动问题。
楼主关于电镜自带的很多泵的疑问,这也要从高频振动和低频振动的角度来理解。通常泵产生的振动都属于高频振动,而这些振动可以轻易的被电镜自带的空气弹簧隔离掉,因此不会影响到电镜画面。而且通常电镜厂家,在泵和电镜的连接管路上会单独在家一个隔振器,即一个质量很大的黑色铁块,这个铁块的功能是隔离泵通过管路传来的振动,并将这些振动的能量释放到大地中去,这也就是我们常说的“接地”。
但总而言之,这些都是高频振动,都好解决,困难在于低频振动,业界公认的做法是加装主动式减振器。推荐韩国大一主动式减振器,低频隔震效果不错,他们中国代理的电话是13524891527。下面是安装图片和传递曲线。