主题:请问SEM中元素分析问题

浏览0 回复25 电梯直达
haipinghu008
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请问:带EDS的SEM的能探测样品的有效区域为多大?颗粒大小为400nm球状粒子(样品中是非晶态析出晶体,想对晶体作成分分析)能不能用它做准确的元素分析?
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haipinghu008
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110sl119
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你是什么样品?
我是做半导体的;
说不定可以帮你的
联系lishen@gsmcthw.com
haipinghu008
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haipinghu008
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有没有做SEM的老师啊?
这个东西能不能在带能谱的SEM中测出?
共工
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原文由 haipinghu008 发表:
请问:带EDS的SEM的能探测样品的有效区域为多大?颗粒大小为400nm球状粒子能不能用它做准确的元素分析(样品中是非晶态析出晶体,想对晶体作成分分析)?

我想应该没有问题, 您应该知道电镜能谱的分辨率不是很高,    130电子伏特左右, 还有对轻元素的定量分析不精确等等缺点。
您问的是有效区域,400纳米不是很小,  只要    电子束流强度和稳定性都够,定性分析应该是百分百。
haipinghu008
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感谢renxin版主!我样品中的原子序数都在氧后面。我想问:用带能谱的SEM做成分分析,它探测的信号的区域最大为多少?能不能用它做定量分析?
haipinghu008
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我的样品中的微晶根据XRD确定不了(样品中很多晶体的衍射峰重叠,不好确定物质)。有没有测试手段能准确的确定晶体(非晶态中的析出晶体)?
毒菇九剑
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原文由 haipinghu008 发表:
我的样品中的微晶根据XRD确定不了(样品中很多晶体的衍射峰重叠,不好确定物质)。有没有测试手段能准确的确定晶体(非晶态中的析出晶体)?


听起来EBSD(电子背散射衍射仪)好像可以解决你的问题哦, 它正好可以做微区的物相分析嘛
haipinghu008
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haipinghu008
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我想去做
就担心这样做没用
到时会挨老板的劈 

那位老师能提提看法
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