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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：请问SEM中元素分析问题

浏览0 回复25 电梯直达

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haipinghu008

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2006/10/20 9:58:00 11楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

怎么没人回答
自己顶一下

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haipinghu008

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2006/11/10 17:59:00 12楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

怎么再没有人说话啊

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ID：renxin

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2006/11/10 21:21:00 13楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 haipinghu008 发表:
感谢renxin版主！我样品中的原子序数都在氧后面。我想问：用带能谱的SEM做成分分析，它探测的信号的区域最大为多少？能不能用它做定量分析？

大面积低倍数的能量谱分析，可以做制图MAPPING，定量分析理论上可行，实践中一定要注意电子束流的稳定性和分析结果的可重复性，并要多方对比其他分析方式的定量结果，像化学法，最后才能慎重给出定量结果。

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haipinghu008

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2006/11/12 9:19:00 14楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

万分感谢renxin版主！

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zhquanming

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2006/11/12 20:54:00 15楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 haipinghu008 发表:
请问：带EDS的SEM的能探测样品的有效区域为多大？颗粒大小为400nm球状粒子（样品中是非晶态析出晶体，想对晶体作成分分析）能不能用它做准确的元素分析？

理论上说，只要颗粒在SEM上显示清楚就可以用EDS分析，当然束流稳定是应该保证的。用SEM自带的点扫描或面扫描进行效果更佳，也可以用EDS的点扫描功能，但检测过程中需要将SEM设置为快速扫描方式，同时应将对比＆亮度调至最低，否则显示器会被亮点烧坏。检测所得结果当然可以定量分析，但是分析时有几点是必须注意的：其一，有与检测样品元素含量相近的标样最好，可将标样与检测样品在相同的检测条件下进行分析（譬如加速电压、束流大小、工作距离等），这样用标样标定的样品准确性会更高；其二，低原子序数的元素（B、C、N、O、F等）定量含量误差会很大，这是正常的，也是目前微束分析仪器没有突破的问题；其三，EDS的一些信号采集参数应该合适，比如死时间不能太长、CPS采集数量足够、干扰信号小等因素都应该考虑。

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suntaolb

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2006/11/13 23:38:00 16楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

不能做
电子束的有效激发区域是
2-5μ，你的样品有效体积太小
策勒也会不准确

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judy0322

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2006/11/15 11:12:00 17楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

应该是可以，EDS不正好是做微区成分分析的吗

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gpdx

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2006/11/16 20:54:00 18楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

４００ｎｍ？当然不可能测得准啊！
能谱激发的区域根据电压＼电流＼物质的密度等因素不同而不同，但绝对超过你这个尺度！

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odyssey

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2006/11/20 17:20:00 19楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

不能定量分析。原因有二：
-束流强度不知；
-电子束的spot size远大于400nm.

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wzhgp

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2006/12/9 10:39:00 20楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

1）EDS＝Energy Dispersive Spectrometer 能量色散谱仪，信息源：特征X－ray；
2）对于原子序数<32元素，俄歇电子的发射几率较大；对于原子序数>33元素，特征X－ray的发射几率较大，EDS测原子序数>33元素的精确度会比轻元素高；
3）一般用EDS作定性分析，定量分析还是用WDS（波谱仪）；
4）最好就是EDS＋WDS啦。

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