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扫描电镜（SEM/EDS）
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主题：求助：第一次做SEM，请问从其图像中可知知道什么信息？

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dimsum
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发表于：2006/10/09 10:58:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问除了得到表面形貌外还可以得到什么信息？
我做的工作是分析TiO2样品参杂与没有掺杂的不同点。
感谢！

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renxin
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2006/10/9 23:02:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
扫描电镜 可以做样本表层的信息分析， 取决于检测器的检测角度， 可以得到形貌信息或者 纯表层信息， 深度 10到15 纳米。
关于成分信息可以更深， 取决于 样本 本身性质以及 电镜参数的选取， 像大家熟知的加速电压和工作距离等等。
关于制样， 扫描电镜几乎没有什么限制， 可能 最大的限制在于样本的体积和质量是否适合放在样本台上， 还有 正是因为 这个原因，来自样本的污染是扫描的一大问题。
扫描的优势除了样本外，还有可以做超大景深。
扫描不能做的是 高能量的样本穿透， 就像以上所将的内部结构信息。
扫描可以做一定范围内的夹杂物信息， 利用的是 STEM技术， 以低能的扫描电子束穿透样本以发现夹杂物。
透射的分辨率要高出扫描，由于发射源的高能量特征， 光路的色差可以被大大地降低，由此提高了分辨能力， 这是扫描做不到的。
由此也导致了透射制样的高度复杂性。
最佳解决方案是扫描加透射。
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