拆机:
首先更换了块电路板:问题依旧,
跟换电源 问题依旧;
工程师基本可以确认是射频发生器故障,下午继续。
下午换了射频发生器,问题解决(忘记拍照了)。工程师顺便帮我们做了简单的维护。清洗了观察窗。