主题:【已应助】柱流量不稳定,仪器不进样

浏览0 回复17 电梯直达
深蓝色的忧郁2011
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千层峰
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你总流量是多少?总流量太低,超出EPC控制范围也不行的。。。
wyj2008a
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symmacros
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晓月无声
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原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
请问楼主的问题解决了吗?


仪器自动好了,可能是柱子有点堵
柱子用了好几年都没有换了
晓月无声
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原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
请问分流比多少?节省开多少?

前进样口 (分流/不分流)                  后进样口 (SIM DIST)
  模式        :  分流                    压力        :  4.00 psi (打开)
  初始温度      :  250 ℃ (打开)          气体类型    :  氦气
  压力        :  14.42 psi (打开)
  分流比:  50:1
  分流流量:  49.9 mL/min
  分流流量:  53.8 mL/min
  省气装置:  打开
  省气流量:  20.0 mL/min
  省气时间:  2.00 min
  气体类型:  氦气
晓月无声
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原文由 symmacros(jimzhu) 发表:
请问楼主的问题解决了吗?


时而不稳定
但是把省气模式去掉,仪器就进样了
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