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透射电镜（TEM）

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主题：【求助】换样后FILAMENT指示灯和PUMP指示灯不亮

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发表于：2015/10/21 14:25:21 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

今天上午在换第三个样品后，发现插入样品杆后，没有出现平时换样后发出的阀门响声，FILAMENT指示灯也不亮，P3值在150左右变动，但一直不能下到100以下，P5值在200左右变动。抽了一中午真空，现在FILAMENT指示灯还是不亮，PUMP指示灯也不亮，无法看样。以前从未出现过这种情况，不知这是什么原因。应如何解决这种问题？
我们用的是JEM-2010

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2015/10/21 17:49:38 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

抽了2个多小时的真空，P3终于降到了34，FILAMENT指示灯和PUMP指示灯都亮了，可以看样。但看完一个样后，再换一个样，P3又到了150左右，又得抽2个多小时才能使P3降到34，才能看样。这是什么毛病？每换一个样要抽真空2个多小时，以前从未有过。

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洪星二锅头

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2015/10/22 8:21:38 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

你查查样品杆上的O圈是否干净，抹点真空脂，个人觉得是样品杆上有脏东西

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2015/10/22 9:41:31 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

O圈是干净的，因为前两个样换样时没有任何问题，不会换第三个样，O圈就脏了。

现在好像一卸下样品杆，P3就到了190左右，不知是什么原因？

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2015/10/22 9:42:04 Last edit by xlbr

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2015/10/22 11:47:38 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

刚才又试了一次，是刚插入样品杆后，P3就开始上升并到达170左右。预抽10来分钟，彻底插入样品杆后，P3会上升到190左右，然后又慢慢下降，两个多小时候，P3才能降到34，才可以开灯丝看样品。

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2015/10/22 11:52:07 Last edit by xlbr

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2015/10/22 12:09:33 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

刚才彻底插入样品杆后抽真空时，在电镜的小屏幕上出现机械泵真空失败的提示，结果发现机械泵竟然停转。关闭电镜后十来分钟后，重新启动电镜，又得重新抽真空。

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2015/10/22 12:10:11 Last edit by xlbr

lirongzhu

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2015/10/22 14:44:11 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

2010真空系统中P1\P2\P3\P4\P5分别对应那个部位？是否跟2100一样？

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2015/10/22 14:56:57 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 lirongzhu(lirongzhu) 发表:
2010真空系统中P1\P2\P3\P4\P5分别对应那个部位？是否跟2100一样？

应该一样。

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2015/10/22 15:40:50 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

哦，如果跟2100一样的话，那我就能发表自己的看法了。从你说的来看，样品杆插入镜筒，导致照相室真空恶化。那样的话应该不是样品脏的原因，样脏的话应该会影响镜筒的真空。而且像你说的照相室P3值达到了150,而且样品刚预抽的时候P3就会上升。像这种情况，一种可能是V5B有问题了。V5B相比V5A来说，气路管径小，主要是在预抽由机械泵抽空切换至扩散泵抽空的那一刻，防止预抽室的空气流入照相室。另外一种可能就是样品预抽室的皮氏规值漂移太厉害了，导致抽空方式因这个漂移而过早地从机械泵抽空切换至扩散泵抽空，引起照相室真空度下降和扩散泵的负担加重（P5数值急剧加大）。

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2015/10/22 15:52:09 9楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 lirongzhu(lirongzhu) 发表:
哦，如果跟2100一样的话，那我就能发表自己的看法了。从你说的来看，样品杆插入镜筒，导致照相室真空恶化。那样的话应该不是样品脏的原因，样脏的话应该会影响镜筒的真空。而且像你说的照相室P3值达到了150,而且样品刚预抽的时候P3就会上升。像这种情况，一种可能是V5B有问题了。V5B相比V5A来说，气路管径小，主要是在预抽由机械泵抽空切换至扩散泵抽空的那一刻，防止预抽室的空气流入照相室。另外一种可能就是样品预抽室的皮氏规值漂移太厉害了，导致抽空方式因这个漂移而过早地从机械泵抽空切换至扩散泵抽空，引起照相室真空度下降和扩散泵的负担加重（P5数值急剧加大）。

那用什么办法来解决这一问题呢？

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