主题:【求助】Lens打不开了

浏览0 回复5 电梯直达
kuku5837
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2100的机子,今天一个学生样品杆没插好,结果真空和高压就全掉下来了,后来重新抽上去升高压恢复过来,但是Lens发现开启不了了,就是没有那个“嘭”的一声,不知什么原因啊
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lirongzhu
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kuku5837
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原文由 lirongzhu(lirongzhu) 发表:
可能是LENS保险烧了


查过那4个大保险,都没问题
star1122
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kuku5837
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原文由 star1122(star1122) 发表:
SF6 气压检查了没


气压正常,再者lens跟它没关系吧,SF6是跟高压有关系的
蓝莓口香糖
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把系统重置一下,就是那两个用牙签按下去的小按钮。跟LENS在同一个面板上。如果还不行,就把样品杆抽出来。重启机器。
手机版: Lens打不开了
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