主题:【求助】点火失败

浏览0 回复5 电梯直达
m3071358
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点火时有火焰形状,但1秒之后就熄了。重装炬管后点火成功。之前我们半个月没动过炬管,也没做过调谐。这是什么原因引起熄火呢?
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湿度大了或者氩气不纯?我昨天也别碰到这种情况,再试一次就好
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原文由阶前尘(jieqian1211)发表:湿度大了或者氩气不纯?我昨天也别碰到这种情况,再试一次就好
重新点火还是这个样子,只有重新安装炬管才有效果。我们环境湿度才30%,氩气也有过滤器,另外几台ICP都是一样的气。所以气的概率不大。我们几天前更换过RF电源,如果没有安装好会出现这种现象吗?
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原文由 m3071358(m3071358) 发表:
重新点火还是这个样子,只有重新安装炬管才有效果。我们环境湿度才30%,氩气也有过滤器,另外几台ICP都是一样的气。所以气的概率不大。我们几天前更换过RF电源,如果没有安装好会出现这种现象吗?
我觉得是有这种可能的
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