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主题：【求助】点火失败

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m3071358
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发表于：2015/12/30 08:33:34 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
点火时有火焰形状，但1秒之后就熄了。重装炬管后点火成功。之前我们半个月没动过炬管，也没做过调谐。这是什么原因引起熄火呢？
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2015/12/30 9:13:07 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
仪器报错提示是：等离子体电源功率不正确
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阶前尘
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2015/12/30 9:42:29 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
湿度大了或者氩气不纯？我昨天也别碰到这种情况，再试一次就好
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2015/12/30 10:18:33 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由阶前尘(jieqian1211)发表:湿度大了或者氩气不纯？我昨天也别碰到这种情况，再试一次就好
重新点火还是这个样子，只有重新安装炬管才有效果。我们环境湿度才30%，氩气也有过滤器，另外几台ICP都是一样的气。所以气的概率不大。我们几天前更换过RF电源，如果没有安装好会出现这种现象吗？
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化工小能手
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2015/12/30 11:04:40 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
http://bbs.instrument.com.cn/topic/5815417 这里有个点火问题的集锦帖 楼主看一下有没有帮助
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化工小能手
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2015/12/30 11:05:18 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 m3071358(m3071358) 发表:
重新点火还是这个样子，只有重新安装炬管才有效果。我们环境湿度才30%，氩气也有过滤器，另外几台ICP都是一样的气。所以气的概率不大。我们几天前更换过RF电源，如果没有安装好会出现这种现象吗？
我觉得是有这种可能的
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