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ID:sdlzkw007
行业:其他
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ID:jimzhu
原文由 sdlzkw007(sdlzkw007) 发表:通常这种情况发生在停机维护重新开机之后,最大的可能是1)系统泄漏,可以通过检漏的方式逐一排除;2)系统的真空还没有稳定,尤其是分子涡轮泵抽气速度较小或者系统暴露在空气中时间过长;3)高纯氦气的供应有点问题:比如管道微漏导致空气渗透,或者气体纯度不够、下降等等
原文由 棋語鳥鳴(v2680818) 发表:检查一下foreline pump管子是否有锁紧
原文由 荆棘鸟(zongguitang) 发表:是不是调谐瓶中有一些氮、氧气导致的?换过调谐液还是快用完了?或是调谐瓶密封圈漏气?
ID:v2680818
原文由 symmacros(jimzhu) 发表: 请问是连接机械真空泵的管子吗?
原文由 棋語鳥鳴(v2680818) 发表:对管子上的螺丝,有时换油气过滤器时会转开,但忘记转回去,可确认一下是否有鬆掉,另外可把载气关闭试试,如果关闭就降下来则是GC部份漏,反之则是MS这边
ID:zongguitang
原文由 symmacros(jimzhu) 发表: 也有人这么讲调谐液有空气。调谐液还够。密封圈未检查。
原文由 荆棘鸟(zongguitang) 发表: 如果调谐液还够,系统有漏气就查看所有的密封圈,还有石墨垫。停机维护后再开机最好多抽一段时间。
ID:v3062055
原文由 symmacros(jimzhu) 发表: 松开都不会的。我试一下关闭载气看看。