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主题：【原创】Agilent 8900 在超純水的偵測能力展現

浏览0 回复6 电梯直达
hsu3111
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发表于：2018/09/25 14:06:03 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位同业在分析半导体最大的挑战是如何到ppt甚至是ppq的数据与验证，

由于半导体未来制程进阶到7奈米或更低，未来对半导体的分析的要求，

只会更低，分享我的结果给予大家，结果与需注意的在附件

只要你符合
1.你的无尘实验室等级达到CLASS100以下水平
2.你的ICP-MS背景值控制得很好
3.你的UPW 品质很好，有达到PPT的水平
4.你的分析器材有效处里到达到PPT以下的水平
5.你的仪器操作与添加标准品的手法够低
附件：
Doc1.docx
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2018/9/25 17:20:31 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
年薪得300万新台币吧
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Tim
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2018/9/27 9:18:15 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
半导体行业，一直是Agilent的地盘
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仪器精英
Ins_1bfdbc3b
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2018/12/14 12:14:48 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
感谢分享好东西
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庄子的猫
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2018/12/28 15:20:57 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
class1000等级，一般能到100.
UPW只能测试到1ppt。

你的曲线0.1ppt，0.2ppt？这个怎么做到的。
3次测试RSD那么高，是否有意义？
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2018/12/28 15:21:37 Last edit by Ins_4ee07def
光哥
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2018/12/28 16:47:26 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 庄子的猫(Ins_4ee07def) 发表:
class1000等级，一般能到100.
UPW只能测试到1ppt。

你的曲线0.1ppt，0.2ppt？这个怎么做到的。
3次测试RSD那么高，是否有意义？
这种浓度的测试，难不成你还想把RSD控制在5%以内？
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庄子的猫
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2018/12/31 13:24:25 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 光哥(xsh1234567) 发表: 这种浓度的测试，难不成你还想把RSD控制在5%以内？
我的意思是rsd很大的时候，并不能保证每次曲线r值都那么好。随机性太强。
0.1，0.2ppt即便在100等级洁净室，洁净度很难做到。
安家自己的文献最好的也是个位数ppt曲线，RSD也很理想，有重复性。
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