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主题：【求助】进样口压力上不去

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zyl3367898
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2019/4/9 21:37:36 21楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
找到原因，反馈有积分奖励。
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灵犀
p3283256
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2019/4/10 8:52:02 22楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 zyl3367898(zyl3367898) 发表:找到原因，反馈有积分奖励。
昨天先把顶空卸了，发现进样口压力没有问题，后来安上就还是存在上述的问题，问了工程师说：用顶空必须用恒压模式
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安平
byron1111
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2019/4/11 8:52:36 23楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 灵犀(p3283256) 发表:昨天先把顶空卸了，发现进样口压力没有问题，后来安上就还是存在上述的问题，问了工程师说：用顶空必须用恒压模式
也可能是顶空的流量调节不合适
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安平
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2019/4/11 8:52:59 24楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
gc的分流比加大一些，看看是否可控
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安平
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2019/4/11 8:54:04 25楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
分流比原先多高
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安平
byron1111
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2019/4/11 8:54:50 26楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
总之，肯定不是正常现象。

但未必是有硬件故障，仔细检查和实验分析条件设定
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omipower
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2019/4/11 11:21:22 27楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
看情况，应该是顶空提供载气，气相进样口控制压力，程序升温后柱头压力不够。可以尝试这么解决：柱箱直接升温到程序升温最末段，调顶空压力至进样口压力够用，不报警。再调高顶空压力几psi即可。
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omipower
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2019/4/11 11:24:35 28楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 omipower(omipower) 发表:看情况，应该是顶空提供载气，气相进样口控制压力，程序升温后柱头压力不够。可以尝试这么解决：柱箱直接升温到程序升温最末段，调顶空压力至进样口压力够用，不报警。再调高顶空压力几psi即可。
要注意的问题：1、安捷伦的进样口EPC是否会因超压损坏，有用户遇到过，请咨询安捷伦公司。2、顶空进样器各厂家有差异，请咨询设定压力是否在允许范围内。
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