原文由 nanomaster 发表:
传统扫描器是管式扫描器,具有以下优点:
1)结构简单小巧,容易制造
2)机械固有频率较高,对环境震动不敏感
3)圆柱对称结构有利于消除XY方向热漂移(但如果制造工艺稳定如否可能会引起不对称,而无法实现该优点)
缺点是:
1)由于压电陶瓷固有的缺陷如:非线性、滞后、蠕变以及老化等引起测试误差。
2)扫描器的结构误差,是指扫描器自身的结构缺陷引起的误差,主要包括价差耦合误差、非正交误差以及扫描器的形状误差。
3)管式扫描器容易出现“钟摆效应”,导致两侧的扫描失真,尤其是对较厚的样品而言
4)管式扫描器在偏离XY轴的方向及易出现非线性状况,导致图像失真
目前新出现的平板式扫描器,如果再配上三轴实时校正的闭环扫描则对于AFM的性能有非常大的改进。具有如下优点:
1)能够消除或者尽量减小以上管式扫描器引起的误差
2)易于实现大范围均匀的扫描
3)为生物型AFM开辟了广阔的领域
4)平板式扫描器代表着未来AFM的发展方向
但是平板式扫描器也有自身的缺点:
1)制造成本较贵,制造较为复杂
2)目前采用平板式扫描器的厂商较少(可能是开发成本较高的原因),据说有VEECO、JPK、PNI等少数几家采用或者正在开发平板式扫描器
原文由 nanomaster 发表:
传统扫描器是管式扫描器,具有以下优点:
1)结构简单小巧,容易制造
2)机械固有频率较高,对环境震动不敏感
3)圆柱对称结构有利于消除XY方向热漂移(但如果制造工艺稳定如否可能会引起不对称,而无法实现该优点)
缺点是:
1)由于压电陶瓷固有的缺陷如:非线性、滞后、蠕变以及老化等引起测试误差。
2)扫描器的结构误差,是指扫描器自身的结构缺陷引起的误差,主要包括价差耦合误差、非正交误差以及扫描器的形状误差。
3)管式扫描器容易出现“钟摆效应”,导致两侧的扫描失真,尤其是对较厚的样品而言
4)管式扫描器在偏离XY轴的方向及易出现非线性状况,导致图像失真
目前新出现的平板式扫描器,如果再配上三轴实时校正的闭环扫描则对于AFM的性能有非常大的改进。具有如下优点:
1)能够消除或者尽量减小以上管式扫描器引起的误差
2)易于实现大范围均匀的扫描
3)为生物型AFM开辟了广阔的领域
4)平板式扫描器代表着未来AFM的发展方向
但是平板式扫描器也有自身的缺点:
1)制造成本较贵,制造较为复杂
2)目前采用平板式扫描器的厂商较少(可能是开发成本较高的原因),据说有VEECO、JPK、PNI等少数几家采用或者正在开发平板式扫描器