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主题：【求助】仪器显示吹扫气泄漏换了个进样口的隔垫，但不管用后面接气的全是不锈管，拧的也紧的很，现在不知道怎么办？ 会是哪里的问题？

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simao118
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发表于：2019/07/16 11:41:09 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
仪器显示吹扫气泄漏换了个进样口的隔垫，但不管用后面接气的全是不锈管，拧的也紧的很，现在不知道怎么办？ 会是哪里的问题？
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2019/7/16 12:05:17 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
接进样口端的柱子端石墨垫圈换下，重新接下柱子
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zyl3367898
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2019/7/16 12:11:34 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
气路接EPC的地方是否有漏气。
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dadgoh
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2019/7/16 12:16:12 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
检查一下传输线密封情况。
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