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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】热场看几十纳米的样品可以不镀金吗？

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gaobingrong

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发表于：2007/02/24 18:20:00 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我是新手，在这个网站学到很多东西，谢谢各位前辈。
我们实验室正在考虑买一个场发射SEM，因为要做的样品为小于50纳米，不导电，希望能够不镀金测试已经询问了S4800和日本电子7501，但是为了将来能够做更全面的测试，又希望买热场的，请问热场可以不镀金测试吗？如果可以，请推荐价格与这两款冷场相当的热场，谢谢！

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2007/2/25 12:47:00 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我认为，在高真空状态下，冷场发射和热场发射扫描电镜的基本性能差别不是很大。但热场发射电镜有很多型号具有低真空功能，而冷场发射一般没有此功能。在低真空条件下可直接观察不导电样品，给试验带来很多方便。但是低真空下成像的效果和分辨率比高真空时要差，观察几十纳米的东西可能要费点劲（你可找家电镜用户试试）。在高真空下分辨率较高，但要镀金。对于几十纳米的细节，要求镀金的颗粒要很细，要使用较高级的蒸镀仪器。也可试用在低加速电压下的成像效果，对不导电的样品也很有效。场发射电镜的低加速电压下的分辨率也较高，这也是一种解决方案。

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semuser

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2007/2/26 11:06:00 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

热场低真空的观测效果不太好，我看到的照片也就5万倍，而且经过锐化处理，总觉得有点变形；试过镀铂，6~8万倍左右可明显见到铂颗粒，有点和样品混杂，不太好分辨
冷场图片不错，但操作要求太高，尤其是样品的分散、固定
最好还是分别作试验试试

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sunnysky

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2007/2/27 12:04:00 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

日本电子的7501F可以选配一个新开发的低角度背散射探头,加上GB模式,看不导电的样品效果很好.

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毒菇九剑

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2007/3/1 11:57:00 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

热场的大束流对配附件有利，如能谱、EBSD、阴极荧光、波谱，但是如果更关注图像的话，冷场应该够了，配个能谱就差不多了。
50纳米不喷镀估计够呛。热场主要就是ZIESS，或FEI的了，JEOL和TESCAN也有。

原文由 gaobingrong 发表:
我是新手，在这个网站学到很多东西，谢谢各位前辈。
我们实验室正在考虑买一个场发射SEM，因为要做的样品为小于50纳米，不导电，希望能够不镀金测试已经询问了S4800和日本电子7501，但是为了将来能够做更全面的测试，又希望买热场的，请问热场可以不镀金测试吗？如果可以，请推荐价格与这两款冷场相当的热场，谢谢！

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