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主题：【求助】碰撞反应池与磷的检测

浏览0 回复8 电梯直达
szyf983
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发表于：2007/04/03 21:12:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

各位大虾好，小弟在半导体行业工作，使用的是安捷伦的7500cs。
请问在做DI基质的洁净室环境样品中的磷含量时，碰撞反应池是否有明显效果？

因为一些界面效应以及氧化物干扰，小弟在检测磷的时候非常的头痛，上次听一位大虾说使用氦气碰撞反应池效果不错，我试了一试，实在是不得其法，

还望了解情况的各位能够指点一二。非常感激。
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2007/4/4 21:34:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
做S 和P，还是用PE的DRC 效果比较好，可以和02作为反应气体 转化为SO PO进行检测。好像在 Analtical  Chemistry上发表了文章。
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zengyiwen
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2007/4/5 16:43:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 szyf983 发表:

各位大虾好，小弟在半导体行业工作，使用的是安捷伦的7500cs。
请问在做DI基质的洁净室环境样品中的磷含量时，碰撞反应池是否有明显效


果？

因为一些界面效应以及氧化物干扰，小弟在检测磷的时候非常的头痛，上次听一位大虾说使用氦气碰撞反应池效果不错，我试了一试，实在是不得其法，

还望了解情况的各位能够指点一二。非常感激。



你好,我现在也是在半导体行业的,可不可以认识一下啊?
我的QQ是332556452
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zengyiwen
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2007/4/5 16:52:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 camelxiangzi 发表:
做S 和P，还是用PE的DRC 效果比较好，可以和02作为反应气体 转化为SO PO进行检测。好像在 Analtical  Chemistry上发表了文章。



能详细就此情况和其他公司的所谓统称碰撞反应池技术比较一下吗?
还有,据说angilent的7500CS更适合半导体行业啊?
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camelxiangzi
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2007/4/5 21:23:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
安的7500Cs 以及PE的 DRCII都是定位于半导体检测的，不知道热电用于半导体是什么型号。有否达人 说一说。
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人遂天愿
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2007/4/5 22:54:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我是用热电X2质谱，利用碰撞池的动能岐视功能，用氦氢气作为混合气体，测地球化学样品中低含量砷，效果不错，但没试过磷硫。
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zengyiwen
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2007/4/6 9:05:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 camelxiangzi 发表:
安的7500Cs 以及PE的 DRCII都是定位于半导体检测的，不知道热电用于半导体是什么型号。有否达人 说一说。


热电不是在环境领域应用比较多吗?热电在半导体好象主要是他们的尼高力FT-IR做得比较好吧


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danhim
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2008/9/4 14:27:51 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 camelxiangzi 发表:
安的7500Cs 以及PE的 DRCII都是定位于半导体检测的，不知道热电用于半导体是什么型号。有否达人 说一说。




热电的Element2，据了解，台湾的台积电，以及日本的很多半导体企业都用它。它是高分辨型的，双聚焦的原理，不同于四级杆，当然价格也贵得很。
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2008/9/9 9:45:45 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 danhim 发表:
原文由 camelxiangzi 发表:
安的7500Cs 以及PE的 DRCII都是定位于半导体检测的，不知道热电用于半导体是什么型号。有否达人 说一说。




热电的Element2，据了解，台湾的台积电，以及日本的很多半导体企业都用它。它是高分辨型的，双聚焦的原理，不同于四级杆，当然价格也贵得很。

热电在四级杆质谱上还是X2应用于微电子，但是高分辨质谱可能更代表了这个行业的应用方向，因为原本复杂的干扰问题在高分辨仪器上非常容易的得到了解决。
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