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主题：【分享】【实战宝典】硅片表面元素如何分析？

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发表于：2022/07/05 13:59:25 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
问题描述：硅片表面元素如何分析？
解答：
为了检测硅片表面的污染，必须从硅片表面将污染元素萃取出来，萃取方法分为手工萃取和化学气相沉积（VPD）自动萃取。目前，绝大部分8寸以上的硅片表面元素萃取采用VPD方式进行。



VPD-ICP-MS一般地萃取过程

某Fab厂全自动VPD-ICP-MS系统

某硅片分析结果 *[10]

以上内容来自仪器信息网《ICP-MS实战宝典》
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