主题:【求助】薄膜样品的处理方法

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可人
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我用离子束溅射沉积的纳米薄膜,由于在试样切割和测试时表面不小心印上了手印,还有其他的一些类似尘土之类的东西,不知道用什么试剂擦洗一下可以不破坏和污染薄膜表面?薄膜厚度在100nm以内,实在不敢做传统的金相处理,请大家帮忙!
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magggggg
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To erase the grease or dust on the surfaceof thin films, the common soluions are acetone or IPA by using ultrasonic cleaning.
hyzxh
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