主题:【求助】赛默飞ICAP-RQ等离子体不能点燃

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花枝丸呀小丸子
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有哪些原因,咋解决???????
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JOE HUI
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没看清楚软件具体报错信息,赛默飞等离子体不能点燃可能由多种原因导致,以下是一些常见的排查和解决方法:

1.?电源问题:检查电源是否正常连接,电压是否稳定。确保电源线没有损坏,电源插座工作正常。

2.气体供应:确认气体流量和压力是否符合要求。检查气瓶是否有足够的气体,气体管路是否有泄漏或堵塞。

3.炬管和进样系统:检查炬管是否安装正确,有无损坏或污染。进样系统是否通畅,雾化器是否正常工作。

4.冷却系统:等离子体系统的冷却是否正常,冷却水温、水流是否满足设备要求。

5.仪器设置:检查仪器的参数设置,如射频功率、频率等是否正确。

6.点火程序:按照设备的操作手册正确执行点火程序,确保操作步骤无误。

如果以上方法仍不能解决问题,建议您联系赛默飞的技术支持人员,他们能够根据具体情况提供更专业和针对性的解决方案。
花枝丸呀小丸子
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原文由 JOE HUI(xurunjiao5339) 发表:没看清楚软件具体报错信息,赛默飞等离子体不能点燃可能由多种原因导致,以下是一些常见的排查和解决方法:1.?电源问题:检查电源是否正常连接,电压是否稳定。确保电源线没有损坏,电源插座工作正常。2.气体供应:确认气体流量和压力是否符合要求。检查气瓶是否有足够的气体,气体管路是否有泄漏或堵塞。3.炬管和进样系统:检查炬管是否安装正确,有无损坏或污染。进样系统是否通畅,雾化器是否正常工作。4.冷却系统:等离子体系统的冷却是否正常,冷却水温、水流是否满足设备要求。5.仪器设置:检查仪器的参数设置,如射频功率、频率等是否正确。6.点火程序:按照设备的操作手册正确执行点火程序,确保操作步骤无误。如果以上方法仍不能解决问题,建议您联系赛默飞的技术支持人员,他们能够根据具体情况提供更专业和针对性的解决方案。
谢谢老师的耐心解答!
123
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ICAP-RQ等离子体不能点燃有多种原因,包括:氩气供应不稳定或压力不适当。射频(RF)发生器功率设置不正确。等离子体火炬、气体流动系统有堵塞或泄漏。点火线圈和火炬位置不正确。点火电极需要清洁或更换。等离子气路不通畅或废液管路堵塞。炬管未装好或氩气纯度低。高频线圈与矩管不同心或循环水温度设得太低。解决步骤可能包括检查和调整氩气供应,确认RF发生器设置,清洁或更换点火电极和火炬,以及检查气路系统是否有堵塞或泄漏。
oscar_2007
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楼主,你的ICAP-RQ等离子体不能点燃报错那里,显示门已开启状态,是不是没有关好感应不到。
Ins_c6fa9ea4
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点火之前要先确认潘宁规压力<5?10-7,以及等离子排风在0.4~0.6mbar,然后才点火。
看你的报错提示应该是腔体那个门没关好吧。
如果是清洗了矩管的话,一定要烘干或者自然晾干(不能用氮气吹,石英管还是很脆弱的,角度不对会吹裂),矩管里有水的话会导致点火失败;或者是废液排不出去,使得矩管内有积水也会点火失败。
如果是“冷却循环水流低”这个报错,可能是冷却循环水接到仪器上的循环水过滤器使用时间较长堵塞了。

tuxlin
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花枝丸呀小丸子
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原文由 123(m3149125) 发表:
ICAP-RQ等离子体不能点燃有多种原因,包括:氩气供应不稳定或压力不适当。射频(RF)发生器功率设置不正确。等离子体火炬、气体流动系统有堵塞或泄漏。点火线圈和火炬位置不正确。点火电极需要清洁或更换。等离子气路不通畅或废液管路堵塞。炬管未装好或氩气纯度低。高频线圈与矩管不同心或循环水温度设得太低。解决步骤可能包括检查和调整氩气供应,确认RF发生器设置,清洁或更换点火电极和火炬,以及检查气路系统是否有堵塞或泄漏。
好的 谢谢老师的耐心回答
花枝丸呀小丸子
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p3203140
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我们用的是他家的OES有时候也会有点不着火的情况,每次都是空气湿度大。
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