主题:关于熄火分子泵有时会停

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tongguizou
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为何在熄火时分子泵有时会停,是否因为Ar气的压力过大造成的?
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我想可能是仪器自动保护控制的吧,也不知对不对。
AA700
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正常熄火时不应该停 从analysis 到 stand by 机械泵和涡轮泵是不会停的
cyy2008
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qwertyuiop
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可能是滑动阀关闭时动作太慢而引起的, 或是哪里漏气, 我们曾经出现过, 在厂家工程师电话指导下自己弄好了.
cyy2008
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