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主题：【求助】请问作静电力EFM用什么针尖？

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maliying
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发表于：2007/07/24 11:21:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请问用DI的Multimode Ⅳ作静电力扫描时，应该用哪种导电针尖？我们这里随机附带的针尖有以下这几种：ESP、FESP、MESP、RTESP、DNP-20、DNP-S10、NP-S10、OTR8-35。高手能指点一下吗？
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2007/7/26 15:30:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我用的是Seiko的SPM, 要用导电探针。如果是做KFM,最好用单一金属涂层的，这样就不需要校准探针的功函。
Seiko的是双通道同时模式，DI的是lift模式，但原理是一样的。
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maliying
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2007/7/30 15:24:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
谢谢回复，我要做的是EFM，不知道用哪种针尖，好像有的针尖是Au Reflective Coating的，不知道行不行？
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rapido
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2007/8/1 12:55:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
怎么会这么麻烦呢，不过还好，终于摸索出一些东西出来
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hansyangts
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2007/8/6 13:31:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 maliying 发表:
谢谢回复，我要做的是EFM，不知道用哪种针尖，好像有的针尖是Au Reflective Coating的，不知道行不行？


Au Reflective Coating是指悬臂的反射激光面涂有Au（Cantilever Coating），当然也有镀Al的，但单是这样描述的这种针尖并不能说明可用于EFM。用于EFM的针尖必须要有针尖的涂层（Tip Coating），在针尖的说明书上一般都会注明，常用的涂层有Au、Pt、TiN、W2C等，都是用于EFM的针尖。
用于MFM的针尖，一般都具有FeNi/Cr、Co/Cr、SmCo/Cr的涂层。
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rapido
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2007/8/21 17:21:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 hansyangts 发表:
原文由 maliying 发表:
谢谢回复，我要做的是EFM，不知道用哪种针尖，好像有的针尖是Au Reflective Coating的，不知道行不行？


Au Reflective Coating是指悬臂的反射激光面涂有Au（Cantilever Coating），当然也有镀Al的，但单是这样描述的这种针尖并不能说明可用于EFM。用于EFM的针尖必须要有针尖的涂层（Tip Coating），在针尖的说明书上一般都会注明，常用的涂层有Au、Pt、TiN、W2C等，都是用于EFM的针尖。
用于MFM的针尖，一般都具有FeNi/Cr、Co/Cr、SmCo/Cr的涂层。


正解，有金属涂层的不一定表示tip有金属。
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sic_sic
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2007/8/31 8:59:00 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
MESP可以
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maliying
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2007/9/5 9:30:00 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
对，工程师告诉我用MESP就可以的！谢谢各位啦！有什么问题一定再向大家请教！
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guolinhao
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2010/1/21 20:16:50 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
做EFM时加正的偏压和负的偏压时phase
图像有什么不同啊 请高手指点 我测的时候怎么没什么变化啊 这样影响结果吗
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