主题：【讨论】关于传统PZT和平板扫描器的讨论

原文由 romantic25 发表:
相信做AFM的都知道，传统的AFM都是用管状压电陶瓷做扫描器，有许多无法克服的缺点；但近些年有些厂家开始使用平板扫描器，在XY扫描上大大改观，希望大家使用过两种扫描器的多多讨论，各谈优点缺点，以长见识！

呵呵，1楼说得对，把你知道的都抖落出来吧，别卖关子了。鄙人确实不知道平板扫描器和管状压电陶瓷做扫描器相比有什么优点，不妨说出来，让我们开开眼界！（如果是做广告的话，删无赦。可以去采购交流版作广告！）

原文由 romantic25 发表:
压电陶瓷管的扫描器由于压电材料本身的一些特性,比如老化,滞后,非正交性等等限制了一些扫描特性,导致测量的非线性差,稳定性会不好.这些在各个AFM的使用手册上也都有提到.
具体的如果各位感兴趣我可以搜集搜集该方面信息.也希望大家能提供参考,好让大家提高学习.
至于平板扫描器,也是最近些年才开发应用到AFM中,优点缺点也各自有之.

原文由 nanomaster 发表:
传统扫描器是管式扫描器，具有以下优点：
1）结构简单小巧，容易制造
2）机械固有频率较高，对环境震动不敏感
3）圆柱对称结构有利于消除XY方向热漂移（但如果制造工艺稳定如否可能会引起不对称，而无法实现该优点）
缺点是：
1）由于压电陶瓷固有的缺陷如：非线性、滞后、蠕变以及老化等引起测试误差。
2）扫描器的结构误差，是指扫描器自身的结构缺陷引起的误差，主要包括价差耦合误差、非正交误差以及扫描器的形状误差。
3）管式扫描器容易出现“钟摆效应”，导致两侧的扫描失真，尤其是对较厚的样品而言
4）管式扫描器在偏离XY轴的方向及易出现非线性状况，导致图像失真
目前新出现的平板式扫描器，如果再配上三轴实时校正的闭环扫描则对于AFM的性能有非常大的改进。具有如下优点：
1）能够消除或者尽量减小以上管式扫描器引起的误差
2）易于实现大范围均匀的扫描
3）为生物型AFM开辟了广阔的领域
4）平板式扫描器代表着未来AFM的发展方向
但是平板式扫描器也有自身的缺点：
1）制造成本较贵，制造较为复杂
2）目前采用平板式扫描器的厂商较少（可能是开发成本较高的原因），据说有VEECO、JPK、PNI等少数几家采用或者正在开发平板式扫描器

原文由 nanomaster 发表:
传统扫描器是管式扫描器，具有以下优点：
1）结构简单小巧，容易制造
2）机械固有频率较高，对环境震动不敏感
3）圆柱对称结构有利于消除XY方向热漂移（但如果制造工艺稳定如否可能会引起不对称，而无法实现该优点）
缺点是：
1）由于压电陶瓷固有的缺陷如：非线性、滞后、蠕变以及老化等引起测试误差。
2）扫描器的结构误差，是指扫描器自身的结构缺陷引起的误差，主要包括价差耦合误差、非正交误差以及扫描器的形状误差。
3）管式扫描器容易出现“钟摆效应”，导致两侧的扫描失真，尤其是对较厚的样品而言
4）管式扫描器在偏离XY轴的方向及易出现非线性状况，导致图像失真
目前新出现的平板式扫描器，如果再配上三轴实时校正的闭环扫描则对于AFM的性能有非常大的改进。具有如下优点：
1）能够消除或者尽量减小以上管式扫描器引起的误差
2）易于实现大范围均匀的扫描
3）为生物型AFM开辟了广阔的领域
4）平板式扫描器代表着未来AFM的发展方向
但是平板式扫描器也有自身的缺点：
1）制造成本较贵，制造较为复杂
2）目前采用平板式扫描器的厂商较少（可能是开发成本较高的原因），据说有VEECO、JPK、PNI等少数几家采用或者正在开发平板式扫描器