原文由 hailanshi 发表:
不知大家对聚光镜消像散有没有什么经验可谈啊。今早在调试电镜时突然发现光斑在过焦及欠焦时呈椭圆状,郁闷得很。用stigmator中的condenser消,但实在是不好消啊,用荧光屏中心的小圆看是圆了,但顺时针散开至外圈的大圆时又变成椭圆了,用大圆做参照是圆的了,但会聚至小圆时又变成椭圆了。有没有什么更好的方法啊,痛苦死了。
原文由 magggggg 发表:原文由 hailanshi 发表:
不知大家对聚光镜消像散有没有什么经验可谈啊。今早在调试电镜时突然发现光斑在过焦及欠焦时呈椭圆状,郁闷得很。用stigmator中的condenser消,但实在是不好消啊,用荧光屏中心的小圆看是圆了,但顺时针散开至外圈的大圆时又变成椭圆了,用大圆做参照是圆的了,但会聚至小圆时又变成椭圆了。有没有什么更好的方法啊,痛苦死了。
We had similar experiences. In our solution, we re-aligned the axis alignment from Gun tilt/hori.,spot size dependent GH,pivot point(ppx, ppy), to condensor lens for several times. Make sure everything in tha alignment is OK.