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透射电镜（TEM）
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主题：薄膜材料的电镜观察方法

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radisher
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发表于：2006/10/17 10:50:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我想看看在薄膜材料上涂的样品的厚度，不知道怎样制样。请帮帮忙
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2006/10/17 12:03:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
做断面SEM或者截面TEM都可以的。
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toallen
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2006/10/17 12:30:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用SEM就可以看啊,而且都可以测量出实际的厚度的.
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yx_clouds
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2006/10/23 0:28:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果薄膜太薄的话个人认为并不适合用SEM测试，我原来做的100多nm的薄膜用SEM观察，最小的都测出来好几百nm，我想这个跟SEM的精度有关系吧，本身要镀一层金，如果膜层太薄，受到这层金膜的影响应该比较大，个人猜测！
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yx_clouds
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2006/10/23 0:28:00 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
嗯，如果比较薄，我觉得AFM比SEM好用，呵呵
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dj_yang
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2006/10/23 7:00:00 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
观点正确！
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2006/10/24 16:03:00 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
SEM测薄膜的断面需要薄膜导电，否则需要镀金，但是镀金厚度都很薄，不至于对薄膜的厚度测试影响太大。
对于100nm 厚度的薄膜，高分辨得SEM可以准确测量厚度，比较老的SEM就不行了。
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lzzrzxz
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2006/10/31 8:32:00 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用台阶仪可以测膜厚的！
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radisher
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2006/12/30 11:29:00 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用透射怎么测呀？
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blackcavalier
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2007/1/18 15:08:00 11楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
sem做断面的测量就可以了，我觉得
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遐想客(ysl)
yangsuolong96
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2007/1/25 23:13:00 12楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
没有喷金，直接用SEM扫描的断面，自己用玻璃刀割断的。直接割断后马上放入电镜中扫。好像分不清楚玻璃基体和我镀的膜了 ，彼此之间分不清阿。怎样才可以分析出我的膜的厚度？
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