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主题：【求助】特种气体分析．求助

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发表于：2007/11/05 14:50:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们现在在研究气体如磷烷（PH3）、硅烷（SiH4）、砷烷（ASH3）等气体中的水含量
我们研究的气体是高纯的，一般是99.999%，所以杂质含量很低
我们已成功的分析到了这些气体中的N2，O2，CO2，最小结果均能到1ppm。

我们现在的困难是水含量无法分析，水不出峰，而对于气体的研究必需要有水含量的结
果。
我司使用的仪器是HP5890II和HP4890D。六通阀进样，TCD和FID检测器

有没有高手，指教一下，用哪一款柱子，可以分析．另外有没有相关的谱图．

请发邮件．251482168@163.com
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2007/11/5 15:59:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
个人觉得你的那些气体既然能达到99.99的话，那你的水分基本上是无法检测出来的，即使有少量的水，会和这些物质反应掉了，因此你检测的图谱中水分应该是不出峰的
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知识狂魔
yjgwty1811219
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2008/12/25 21:15:36 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
可以用微量水分析仪,国产的成都仪器厂的挺好的,进口的更好,就是价格贵点,有银子就买进口的!
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知识狂魔
yjgwty1811219
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2008/12/25 21:21:08 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
水一般都是单项测试的1
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guohua
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2008/12/25 21:38:29 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tnbvv 发表:
我们现在在研究气体如磷烷（PH3）、硅烷（SiH4）、砷烷（ASH3）等气体中的水含量
我们研究的气体是高纯的，一般是99.999%，所以杂质含量很低
我们已成功的分析到了这些气体中的N2，O2，CO2，最小结果均能到1ppm。

我们现在的困难是水含量无法分析，水不出峰，而对于气体的研究必需要有水含量的结
果。
我司使用的仪器是HP5890II和HP4890D。六通阀进样，TCD和FID检测器

有没有高手，指教一下，用哪一款柱子，可以分析．另外有没有相关的谱图．

请发邮件．251482168@163.com


水分用TCD可能会灵敏度低，再加上要选择合适的柱子，可以参考白酒的分析柱。
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独钓寒江雪
hzhhqt
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2008/12/26 9:16:41 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这种高纯电子气体中的水分是不能用TCD和FID来检测的，一是灵敏度不够，二是即使能检出来客户也不认可！

建议用光腔率荡光谱仪来测试，或进口的电解法水分仪国产的无法达到这么低的精度
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Last edit by hzhhqt
独钓寒江雪
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2008/12/26 9:27:03 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
你的磷烷（PH3）、硅烷（SiH4）、砷烷（ASH3）里面，都是自燃性气体，除了硅烷外磷烷砷烷可都是受管制的剧毒品，分析的时候一定要注意安全第一！！！
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suzhenkui
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2008/12/26 13:20:57 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
N2，O2，CO2,用FID/TCD，怎么测到1ppm的？
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独钓寒江雪
hzhhqt
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2008/12/26 13:47:51 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 suzhenkui 发表:
N2，O2，CO2,用FID/TCD，怎么测到1ppm的？


CO2,用FID加甲烷转化炉问题不大，N2，O2用TCD可信度就较低了，可能是浓缩进样吧。我参观过几个国外的特气公司一般都是用DID来检测，用TCD测客户很难认可
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cmz4381884
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2008/12/26 22:02:17 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
高纯气体微量水分析就别指望色谱了，一般用露点仪分析居多。常用的电容式露点仪SHAW 的SADP系列 、GEPM880、维莎拉的都还行。
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独钓寒江雪
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2008/12/27 9:21:22 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 cmz4381884 发表:
高纯气体微量水分析就别指望色谱了，一般用露点仪分析居多。常用的电容式露点仪SHAW 的SADP系列 、GEPM880、维莎拉的都还行。


这种高纯的电子气体没人会选用电容式露点仪的，用这种仪器测出来谁会认可你？
做这种高端产品你必须严格按照SEMI标准，不按照SEMI标准规定的仪器检测哪个用户吃的消使用？
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