原文由 cndy_fen 发表:
降低聚光镜电流来增加电子束束斑直径,怎么理解?原理是怎样的?
听我们工程师说聚光镜电流是通过调节spotsize来实现的,对吗?
原文由 fengyonghe 发表:原文由 cndy_fen 发表:
降低聚光镜电流来增加电子束束斑直径,怎么理解?原理是怎样的?
听我们工程师说聚光镜电流是通过调节spotsize来实现的,对吗?
答:不知你是否看过任何一本有关扫描电镜的书,你的问题可以在书中得到圆满答案。我只能说一下结论性的东西。你工程师说得很对。聚光镜(电磁透镜)的电流产生一个聚焦磁场,电子在磁场中通过受电磁力的偏转会聚成电子束束斑。调节spotsize实际上我们调节的是聚光镜电流。较小的聚光镜(电磁透镜)的电流,产生较弱的聚焦磁场,因而得到较大的spotsize。对钨阴极热发射电子枪,不考虑像差他们之间的关系可表达为:d2=0.4i/Bα2。d:束斑直径 i:束流 α:张开半角,张开半角大小受聚光镜电流控制 B:亮度。说到这我想应该可以了。