主题:秀下----离子研磨机

浏览0 回复36 电梯直达
forzamarco
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最近刚安装了一台用离子束研磨样品的横截面的设备,是Hitachi E-3500.样品做好后可以直接放入SEM观察,即使非导电性的样品,也不会观察到Charge-up现象.让各位板油了解一下.好久没发帖了,赚点人气.





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去年冬天
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看样子价格肯定很贵 吧

我们这里的研磨机还是最古老的那种
无名
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原文由 lylsg555 发表:
什么是Charge-up现象?


在楼主的另外帖子中出现:

一般我们把charge up充为放电,指电子束打到样品上由于样品导电性不是很好,不能把电子完全导走,感觉就像入射电子束经过样品碰撞发生散射一样.样品观察时影像会有发亮的现象,有时还会漂移
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很有用的东西嘛,先支持一下。能简单介绍一下原理吗
forzamarco
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发射源跟REXIN大侠之前说的离子显微镜有点相似,用氩气在最高4kV的电压下电离,电离产生的离子束在最高6kV的加速电压下加速撞击到样品上,离子束并没有经过镜片的收束,到达样品上的束径会在150um左右,用此高能量的离子束,再加上样品在样品室里的摆动,就可以将样品上击打出一道沟槽.每次研磨的时候,将样品欲观察的区域放置在离子束击打的区域(在光学显微镜下调整位置),经过几个小时的离子研磨,就可以观察到第一张图片的效果了.
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原文由 forzamarco 发表:
发射源跟REXIN大侠之前说的离子显微镜有点相似,用氩气在最高4kV的电压下电离,电离产生的离子束在最高6kV的加速电压下加速撞击到样品上,离子束并没有经过镜片的收束,到达样品上的束径会在150um左右,用此高能量的离子束,再加上样品在样品室里的摆动,就可以将样品上击打出一道沟槽.每次研磨的时候,将样品欲观察的区域放置在离子束击打的区域(在光学显微镜下调整位置),经过几个小时的离子研磨,就可以观察到第一张图片的效果了.

如果要能应用于EBSD的高标准制样抛光的话,那就是大家的福音了,可能还会成为今后SEM制样设备的标配呢。
forzamarco
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坦白说,我还没做过EBSD,不晓得做出来的效果怎样.第一张图片是客户的样品拍的,样品的内部有一根金线,这幅图是放大观察的表面晶格状况.对于需要做样品横截面抛光的客户还是比较有吸引力的.
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Last edit by forzamarco
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原文由 forzamarco 发表:
坦白说,我还没做过EBSD,不晓得做出来的效果怎样.第一张图片是客户的样品拍的,样品的内部有一根金线,这幅图是放大观察的表面晶格状况.对于需要做样品横截面抛光的客户还是比较有吸引力的.

EBSD样本需要做电解/电化学表面抛光才会有好效果,不过看您上传的照片效果,好像已经达到了ebsd所要的所谓减轻样本表面应力的程度了,可以在这些用户中推广一下。个人浅见。
春天的桃子
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原文由 forzamarco 发表:
发射源跟REXIN大侠之前说的离子显微镜有点相似,用氩气在最高4kV的电压下电离,电离产生的离子束在最高6kV的加速电压下加速撞击到样品上,离子束并没有经过镜片的收束,到达样品上的束径会在150um左右,用此高能量的离子束,再加上样品在样品室里的摆动,就可以将样品上击打出一道沟槽.每次研磨的时候,将样品欲观察的区域放置在离子束击打的区域(在光学显微镜下调整位置),经过几个小时的离子研磨,就可以观察到第一张图片的效果了.

我们现在还没有配,计划在今年要买了
altt
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看了你的照片,感觉不错,想了解一下样品是怎么固定在底座上的,是用导电胶吗?另外如果样品导电性不好,为什么剖面没有charg 现象呢?
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