部分内容:
已安装高效过滤器泄漏检查方案
1 测试目的
通过对洁净室内已安装的高效过滤器进行PAO检漏,确认高效滤器的完整性及其安装的密封性。
2 测试方法:PAO法。
3测试状态与前提条件
静态;
已完成风量/风速测试,结果符合规定;
4 合格标准
受检高效过滤器测得的穿透率的最大值不得大于“出厂合格穿透率”的2倍。
注1:“出厂合格穿透率”可通过受检高效过滤器铭牌上标注的过滤效率换算而得。
K=1-α
式中 K――出厂合格穿透率
α--铭牌上标注的过滤效率。
注2:本次检测的高效过滤器铭牌上标注的过滤效率为 ,换算成“出厂合格穿透率”为 。故本检漏的合格标准为:测得的穿透率≤ 。
5 测试操作
高效过滤器泄漏检查方案及学习资料