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主题：【求助】关于喷金仪的气体流量控制单元

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asahi42
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发表于：2009/07/20 23:15:11 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
请教各位~mass flow control（质量流量控制）的原理是啥呀~这个在喷金仪的氩气控制上有用，但是不知道是怎么工作的。。。附上文献一篇，查了，但是看不懂啊~各位帮帮忙，谢谢了~
mass flow control
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驰奔
srd2009
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2009/12/4 21:00:20 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
用于控制真空度，以达到气体电离所需要的离子流。通过调节控制单元保持进气和排气保持平衡
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