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主题：【求助】SEM、TEM、STEM模式下EDS的精度和束斑尺寸

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tony_zk
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发表于：2009/08/11 05:29:59 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
各位大侠，请问，SEM、TEM、STEM模式下EDS的精度和束斑尺寸范围？
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shxie
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2009/8/11 8:07:11 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tony_zk 发表:
各位大侠，请问，SEM、TEM、STEM模式下EDS的精度和束斑尺寸范围？


一般只有场发射枪才能比较这几样尺寸。
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tony_zk
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2009/8/11 9:01:31 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 shxie 发表:
原文由 tony_zk 发表:
各位大侠，请问，SEM、TEM、STEM模式下EDS的精度和束斑尺寸范围？


一般只有场发射枪才能比较这几样尺寸。


恩，不管是钨灯丝还是热、冷场发射枪，请大家谈谈知道的数据吧。
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水手BOBO
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2014/3/9 21:34:41 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
束斑尺寸SEM，一般有~5nm, STEM可以选择，有1.0，0.5nm等
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