快速导航采购仪器提醒

扫描电镜（SEM/EDS）

版主:

入住本版

专家:

仪器信息网

居民列表

仪器社区 > 显微镜 > 扫描电镜（SEM/EDS）帖子详情

快速回复发表新帖最新帖

返回列表

主题：【讨论】背散射电子像对原子序数的敏感度

浏览0 回复5 电梯直达

蓝莓口香糖

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

发表于：2010/05/28 18:25:51 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

背散射电子像对原子序数更敏感一些，但是从实际使用上来说，大概多大的原子序数差别能体现出来？暂且不考虑高倍下信号噪音的影响。对样品制备有要求吗？是否抛光后结果更可信？

0
赞贴
5
回帖
0
收藏
0
拍砖
版主
招募

为您推荐

近期热榜

热门活动

您可能想找: 气相色谱仪(GC) 询底价

选参数看心得找厂商查方案

专属顾问快速对接

立即提交

可能感兴趣

yinsh1212

禁止发帖修改昵称

ID：yinsh1212

行业：其他

积分：0升级还需100积分

声望：0升级还需100声望

注册时间：0000-00-00

最后登录时间：0000-00-00

进入iLog 私信关注

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2010/5/28 19:46:43 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

有仪器公司的指标说是可以区分原子序数差异为0.1的不同相组成。

赞贴

拍砖

驰奔

禁止发帖修改昵称

ID：srd2009

行业：其他

积分：0升级还需100积分

声望：0升级还需100声望

注册时间：0000-00-00

最后登录时间：0000-00-00

进入iLog 私信关注

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2010/5/28 22:33:53 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

以下是我见过的罗宾逊背散射探测器指标。
性能指标
探测晶体类型：广交闪烁体、光电倍增器背散射式电子探头
信噪比：5：1 1PA ,8kv 二次电子图像信噪比，在加速电压15KV以上时（平坦无倾斜样品）
最小工作距离： 6mm
有效加速电压范围：3KV以上，也可以在1KV形成图像，增强的低电压性能可获得低至500v以下的图像。
空间分辨率：2nm 场发射扫描电镜
5nm 钨灯丝扫描电镜
原子序数分辨率：0.003Z 在钨灯丝扫描电镜中，
0.005Z 在场发射扫描电镜中

赞贴

拍砖

2010/5/28 22:44:58 Last edit by srd2009

驰奔

禁止发帖修改昵称

ID：srd2009

行业：其他

积分：0升级还需100积分

声望：0升级还需100声望

注册时间：0000-00-00

最后登录时间：0000-00-00

进入iLog 私信关注

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2010/5/28 22:51:39 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

因为随着原子序数的增加，背散射电子反射率上升的斜率减小，因此随原子序数增加，原子序数反差降低。
我这里的数据：Al 和Si 原子序数反差为6.7%
Pt 和Au 原子序数反差为0.41%
扫描电镜可以观察到的反差为0.1%

因此我认为背散射探测器的指标应该标识原子序数范围。
假如低原子序数分辨率为0.003z，那么到了高原子序数由于反差减小，再要求0.003Z显然不科学。

赞贴

拍砖

蓝莓口香糖

禁止发帖修改昵称

ID：drizzlemiao

行业：其他

积分：0升级还需100积分

声望：0升级还需100声望

注册时间：0000-00-00

最后登录时间：0000-00-00

进入iLog 私信关注

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2010/5/29 7:13:39 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

背散射探头怎么还有空间分辨率这个指标？这不是应该只跟电镜本身有关的吗？
场发射枪的原子序数分辨率比钨灯丝差？我觉得不应该呀。
我猜测原子序数分辨率决定于探头的敏感度，这是个硬性指标，反映到反射产额曲线上就是纵轴上的产额差。只有这个差值大于某个界限的时候，图像上才会有变化。因为曲线斜率岁原子序数增大而减小，所以在高序数区，要得到同样的产额差，叙述变化就要更大，也就是能量分辨率会变差。从这个方向考虑，原子序数分辨率岁z增加是有道理的。

赞贴

拍砖

驰奔

禁止发帖修改昵称

ID：SRD2009

行业：其他

积分：0升级还需100积分

声望：0升级还需100声望

注册时间：0000-00-00

最后登录时间：0000-00-00

进入iLog 私信关注

结帖率：

100%

关注：0 |粉丝：0

新手级：新兵

2010/5/29 11:16:21 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 蓝莓口香糖(drizzlemiao) 发表:
背散射探头怎么还有空间分辨率这个指标？这不是应该只跟电镜本身有关的吗？
场发射枪的原子序数分辨率比钨灯丝差？我觉得不应该呀。
我猜测原子序数分辨率决定于探头的敏感度，这是个硬性指标，反映到反射产额曲线上就是纵轴上的产额差。只有这个差值大于某个界限的时候，图像上才会有变化。因为曲线斜率岁原子序数增大而减小，所以在高序数区，要得到同样的产额差，叙述变化就要更大，也就是能量分辨率会变差。从这个方向考虑，原子序数分辨率岁z增加是有道理的。

场发射原子序数分辨率比钨灯丝原子序数分辨率差，确实符合逻辑。场发射最大探针电流才多少？100-200nA。而钨灯丝最大探针电流都是1-3微安。
不考虑空间分辨率，越微小反差需要越大的电流。

赞贴

拍砖