摘要: 借助于不同的色散公式， 运用改进的单纯形法拟合分光光度计测得的透过率光谱曲线， 来获得薄膜的光学 常数和厚度。用科契公式分别对电子束蒸发的T i O 2和反应磁控溅射的S i3 N 4，以及用德鲁特公式对电子束蒸发制备的I T O薄膜进行了测试， 结果表明测得的光学常数和厚度， 与已知的光学常数以及台阶仪测得的结果具有很好的一致性。这种方法不仅简便， 而且不需要输人任何初始值， 具有全局优化的能力， 对厚度较薄的薄膜也可行。采用不同的色散公式可以获得各种不同薄膜的光学常数和厚度， 这在光学薄膜、 微电子和微光机电系统中具有实际的应用价值。
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