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主题：【求助】SEM 薄膜与衬底界面处的问题

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傲剑小冰
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发表于：2010/07/29 09:16:31 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

最底下 那条黑线。。。。是衬底与薄膜的界面。。。为什么是黑的呢，还那么粗？  大概是100-200nm， 是所有的界面处在SEM下都会有这样的现象，还是有其他相得生成呢？ 我的薄膜是非晶硅，衬底是单晶硅。。没有特意的长一层SIO2，
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傲剑小冰
zwybb
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2010/7/29 11:15:46 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
唉。。压力好大啊。。很多东西都不太懂~。。理论跟实际还是有差距的。。。。这些数据都是前人留下的。。。居然都没分析 郁闷
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