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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】SEM电镜成像不清楚怎么办

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anshilv

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发表于：2012/12/26 19:19:16 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我的电镜是6490LV的，最近发现成像不清楚，在3000倍左右，怎么调，图像边缘都不是很清楚，以前并不是这样的，而且还有个问题是，成像还是双影的，看一个点，旁边都会有一个浅浅的影子，看一条几百纳米的细线，都能成两条线……GUN束流在70-80uA左右，到底是怎么回事，难道是灯丝快到寿命了？求指点

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2012/12/26 20:17:27 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

像散没有调好？上张图片看看吧

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asahi42

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2012/12/26 20:42:04 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

感觉是灯丝出问题了，换根灯丝再看吧。

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天黑请闭眼

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2012/12/27 7:43:18 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 asahi42(asahi42) 发表:
感觉是灯丝出问题了，换根灯丝再看吧。

那么纳米线出现双影也是因为灯丝？

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asahi42

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2012/12/27 20:58:42 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 天黑请闭眼(shxie) 发表:
原文由 asahi42(asahi42) 发表:
感觉是灯丝出问题了，换根灯丝再看吧。

那么纳米线出现双影也是因为灯丝？

有可能。。。一项一项排除吧~

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trashteam

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2013/1/6 10:19:08 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

1 灯丝有问题
2. 需要保养
3.30kv 的话束流在85uA 左右，20kv的在80uA左右

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asahi42

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2013/1/6 10:56:15 6楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

LZ，办完没？

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sept

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2013/1/7 16:26:47 7楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

我也听过有重影的问题，到底是什么原因呢？如何调整啊，楼主搞定了么

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一品阳光

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2013/1/10 10:18:23 8楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

嗯也想分享一下结论，该怎么着手？

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fengyonghe

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2013/1/21 1:08:31 9楼管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

扫描图像出现阴影可能的原因有：计数率过低、扫描速度过快、鉴别器需要矫正。这些说起来篇幅很长。前两项容易发现。如果前两项没有问题，就需要对鉴别器进行校正。

x-光子是一个个地产生后被探测器接受并检测。一旦有两个或靠的很近的两个x-光子进入探测器，鉴别器会拦截这样的x-光子不被检测但会记住有多少个x-光子未被检测，这就是死时间。当未被检测的x-光子达到256个计数时将这一记数做为慢速通道脉冲高度补进样品的扫描点.该扫描点为当前扫描点.所以扫描速度不能太快.如果扫描速度太快，那个所谓当前点就会脱离目标物而在其不远处生成伪目标物的影像点。这样一幅图像扫下来之后会在目标物图像的右侧生成阴影。

计数率过低会影响到计满“256计数”时扫描点已经脱离了目标物，也会形成阴影。

如果前两项没有问题，就需要对鉴别器进行校正。有问题的鉴别器在进行元素分析时会使谱图失真

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