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主题：【第六届原创】FEI的insepct 50 泵停的故障修复

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小不董
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药物分析发表于：2013/12/26 20:07:47 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
维权声明：本文为doxw0323原创作品，本作者与仪器信息网是该作品合法使用者，该作品暂不对外授权转载。其他任何网站、组织、单位或个人等将该作品在本站以外的任何媒体任何形式出现均属侵权违法行为，我们将追究法律责任。
FEI的insepct 50，在使用快一年了，场发射仪器比钨灯丝电镜使用起来要方便些，不用每天开机关机，但需要长开机，不能停电，否则真空度不够，需要干燥，就麻烦了。总体比以前的6360LV好用多了。

但也有遇到过问题，比如说某天发现真空泵停了，有时发现在放样品进去的时候，一次抽真空不能完成，出现故障。

显示如下：

遇到这个情况，很郁闷，怎么回事呢？

咨询工程师，工程师说可能是一个预过滤器脏了，因为pump是可以开起来的。pump没坏，但观察其CCG1，转速是能上升，而且也能达到99%。但提示有，



14:11:45.078      Vacuum in the electron source is insufficient to run the emission

14:14:37.828      Read-out pressure underflow of IGP1

14:14:37.828      Read-out pressure underflow of IGP2

14:14:48.359      Vacuum in the electron source has been recovered

11:08:58.046      Read-out pressure overflow of CCG1

11:14:39.671      The client requested the pressure using method GetPressure for element CCG1 but this isn't valid because its

      either disabled or not connected.

14:56:51.187      Read-out pressure underflow of CCG1

14:56:56.343      The Gauge CCG1 has been disconnected or didn't start to measure.

09:29:49.156      The client requested the pressure using method GetPressure for element CCG1 but this isn't valid because its

      either disabled or not connected.

居然判断是预过滤脏了，解决不外就更换或将他脏了的东西清理了，先将sever关闭：



然后打开仪器侧板，每台仪器的预过滤器位置是不一样的，找了半天，才发现他藏在样品仓下面。给个写真吧。



就是这个红圈的东东。上面是一个卡酷固定，下面接的数据，电源线，电源线需要用螺丝刀才能取下。

拆下来后，再一个写真：



上图中，轻轻的在A4纸上嗑，有些黑色的脏屑出来，再用洗耳球吹吹，照片照出来不清晰，本想用电镜观察下，再想本来就是电镜里的，若固定不好，又到那里去了咋办呢，就作罢。

再将预过滤器安装上去。卡酷一定旋紧，否则漏气了，也抽真空抽不到。

开启sever，打开UI，pump正常了。
该帖子作者被版主 小M加 15积分， 2经验，加分理由：好作品，好原创
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小M
mitchell_dyzy
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2013/12/27 11:58:41 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
那个是CCG1不是CGG1
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2013/12/27 11:58:53 Last edit by mitchell_dyzy
小不董
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2013/12/27 13:28:38 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
那个是CCG1不是CGG1


小M的眼睛果然火辣，不用电镜就轻轻看到错误了。
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小M
mitchell_dyzy
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2013/12/27 15:56:31 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 小不董(doxw0323) 发表:
原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
那个是CCG1不是CGG1


小M的眼睛果然火辣，不用电镜就轻轻看到错误了。
因为我们电镜上也有这个啊，原来也出过问题，所以一看就知道是什么啦我平时也兼职一些校对的工作哦
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kch031
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2013/12/30 13:59:40 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这不是真空规吗？
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unht
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2014/1/2 21:23:35 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个我们也出过几次问题之后干脆换新的了、、、
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wulin321
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2014/1/3 10:37:13 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
就怕这个，看不太懂外文
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小不董
doxw0323
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2014/1/3 13:56:14 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 wulin321(wulin321) 发表:
就怕这个，看不太懂外文


多看看就熟悉了，电镜不都是英文的占绝大部分吗
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wulin321
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2014/1/3 17:02:57 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 小不董(doxw0323) 发表:
原文由 wulin321(wulin321) 发表:
就怕这个，看不太懂外文


多看看就熟悉了，电镜不都是英文的占绝大部分吗


我们没有这个东西  挺贵的吧
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奉天虫虫
v2778908
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2014/4/14 23:29:29 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
潘宁规  你抛光吧？ 你拿钨灯丝 和 热场比 能比吗？ 价格原理都不一样 搞笑
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奉天虫虫
v2778908
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2014/4/14 23:30:54 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
实际做潘宁规 清洗很简单的
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