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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【原创】创新方法——超高速实时测3D形貌测量，样片展示

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瞬渺科技

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发表于：2017/10/09 10:01:53 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

1、红细胞3D
2、粗糙度表面形貌
3、光敏聚合物受光形变
4、石墨烯薄膜受力形变
测量原理是全息术：CCD采集物光与参考光干涉形成的全息图包含了物体的相位信息，再实时数值重建3D形貌。
优点：1、超高速大面积3D形貌非扫描实时成像，成像速率能做到1000fps
2、纵向能做到亚纳米分辨率
3、非接触成像，无损样品，无惧振动

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2017/10/10 16:12:36 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

看起来挺炫酷的，但是好像不太完整

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2017/10/13 14:02:11 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 小M(mitchell_dyzy) 发表:
看起来挺炫酷的，但是好像不太完整

只是简单分享了几个样品拍摄成果，其实还有很多资料

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2017/10/13 14:03:04 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

科研史上前所未有的观测手段——数字全息可高速实时测量三维形貌，达到了亚纳米精度。克服了传统AFM、CLSM等需要扫描进行三维成像的特性。

表征透明/半透明三维形貌
? 测量厚度从几纳米到几十微米
? 可测最高三层透明薄膜
? 测量薄膜折射率
? 微纳器件动态三维形貌时序图（1000fps），还可测频率响应（高达25MHz）
主要应用
北京大学搭建平面应变鼓膜实验平台测量纳米薄膜的动态力学性能
天津大学微结构表面形貌和运动特性测量
华中科技大学微纳制造与测试，微小光学元件检测，微电子制造封装与测试
清华大学透射式全息显微镜，测量透明样品形貌，还可以测量材料光学参数、内部结构以及缺陷杂质等

? 超快速高精度的三维成像，大面积三维形貌表征，表面粗糙度，MEMS振动测量分析，表征微流体器件和微颗粒三维追踪测试
配合MEMS Analysis Tool、光学反射软件Reflectometry Analysis等专用软件实现更多功能

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