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扫描电镜（SEM/EDS）

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主题：【求助】仪器实验过程中遇到问题了。不知道要怎么办？？

浏览0 回复5 电梯直达

kzhchg2006

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发表于：2011/07/14 17:10:59 楼主管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

jsm扫描电镜5510的真空度是多少？为什么老烧灯丝，一天换一个啊! 灯丝好像断开错位的一样。

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2011/7/14 20:03:49 沙发管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

你的问题是灯丝机械对中不好、栅极帽（维氏帽）需要更换。

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kzhchg2006

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2011/7/15 14:30:20 板凳管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
你的问题是灯丝机械对中不好、栅极帽（维氏帽）需要更换。

难道两个维氏帽都有问题现在用两个都是一样的结果。不可能两个都一起坏的道理啊！

短时间是指多久？几个小时或者一天现在是一天就变黑了，而且每次烧灯丝都会变黑，有时没烧拿出来看看也会变黑。

真空规在什么位置？要求怎么调试？能具体点吗？谢谢或者有图解？

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fengyonghe

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2011/7/15 17:53:50 马扎管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

抱歉，20多年没遇到这事。

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驰奔

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2011/7/15 22:32:43 地毯管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

原文由 kzhchg2006(kzhchg2006) 发表:
原文由 fengyonghe(fengyonghe) 发表:
你的问题是灯丝机械对中不好、栅极帽（维氏帽）需要更换。

难道两个维氏帽都有问题现在用两个都是一样的结果。不可能两个都一起坏的道理啊！

短时间是指多久？几个小时或者一天现在是一天就变黑了，而且每次烧灯丝都会变黑，有时没烧拿出来看看也会变黑。

真空规在什么位置？要求怎么调试？能具体点吗？谢谢或者有图解？

你的真空系统故障，真空系统返油，污染了镜筒腔室。这需要专业人员来系统的恢复，包括清洗整个镜筒，样品室内壁\样品台,真空管路，以及检修真空计，真空控制电器。扩散泵(DP)真空系统一般就是监测低真空度，达到扩散泵启动真空度后，采用延时器来估测高真空，扩散泵在正常情况下抽速非常快，一般30秒即可达到钨灯丝电镜需要高真空，保险起见或者获得更高的真空，一般延时个1-2分钟，所以正常更换样品一般设定在5分钟左右。如果真空计故障，在实际未到DP启动时机而启动了DP,DP很“生气”后果很严重。现在DP效率不够，高真空度达不到。所以你的灯丝在低的真空度下断的很快，栅帽黑色是返油污染的证据。
楼主需要联系JEOL的售后，来给你预算维修费用，你们自己手里的器件工具可能都不全，知道故障所在就行了。如果JEOL的报价太高，楼主可以联系驰奔，让我们来测算一下费用。

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2011/7/15 22:39:50 Last edit by srd2009

驰奔

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2011/7/15 22:55:45 地板管理分享倒序浏览只看楼主回复私聊

还有就是现在拍的图像也不清楚，4000倍的时候就已经开始模糊了，有时候还会有波纹，这个怎么调节啊？
----
楼主应该和JEOL专修帖那发的是一回事吧，驰奔不方便在那回复。
真空污染对电子光学性能影响非常大，污染象散就不说了，我的经验，一般5000倍象散消不去，就要考虑清洗镜筒。现在的大部分进口扫描电镜很多都设计成“懒人模式”，直接换光阑衬管，预对中灯丝直接换栅帽，不过这要是污染严重可换不起，例如国产扫描电镜，还是要分解成最基本的元件来进行清洗。其实清洗镜筒和过去修个自行车换个轴承钢珠、轴瓦、补个轮胎难度相当，只不过需要更清洁，更精细。现在去修车要换就是一套组件，扫描电镜维护基本也形成这个趋势，用户和厂商没时间给你分解到元件，三下五除二搞定,厂商用户皆大欢喜的好事。

图像波纹，实际是加速电压纹波或者说电子枪纹波造成的，你的栅帽和灯丝座都是沉积碳氢化物，导电性不好，也导电，造成电子枪饱和度稳定性变差，终归是真空污染的问题。

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2011/7/16 3:05:58 Last edit by srd2009