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主题：【求助】FEI的TECNAI TEM和HITACHI的HD2700 STEM哪个更适合半导体硅基外延样品分析？

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kmkdragon
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发表于：2018/08/13 20:36:18 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
主要用于半导体芯片的样品分析，为40 nm工艺，需要经常做纳米尺度的FA分析，需要HRTEM和元素mapping，请问FEI的TECNAI TEM和HITACHI的HD2700 STEM哪个更合适？JEOL的呢，听说其很便宜？
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洪星二锅头
coime
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2018/8/16 9:13:42 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
场发射透射电镜应该都可以，mapping和能谱有关，hrtem和电镜的分辨率有关，关注TEM、STEM的分辨率，HAAD、ADF、ABFF等探头尽量多配上就行了
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