主题：【已应助】TXRF和XRF啥区别

TXRF即Total-reflection X-ray fluorescence spectroscopy全反射X荧光分析技术，是一种在X荧光分析技术基础上发展起来的全新技术，其主要特征是通过反射技术去掉在通常X荧光分析中高能散射本底的影响，提高了分析灵敏度，分析刻度简单，分析样品量少（微克量级），设备简单，于八十年代中期开始出现商品。
全反射X射线荧光光谱法与常规的X射线荧光光谱法主要的区别是，在全反射荧光光谱法中采用单色光和全反射光学元件，用全反射光束激发样品荧光，并减少样品基体的吸收和散射。其优点是： 显著增强荧光产额，极大地降低背景噪音，从而拥有更高的灵敏度，可以进行微量元素分析

TXRF与XRF在结构，用途等方面存在差异，具体如下:

1.TXRF元素分析仪介绍 全反射X荧儿（TXRF）分析技术是十多年前才发展起来的多元素同时分析技术，它突出的优点是检出限低（pg、ng/mL 级以下）、用样量少（Μl、ng级）、准确高度（可用内标法）、简便、快速，而且要进行无损分析，成为一种不可替代的全亲的元素分析方法。国际上每两年召开一次TXRF分析技术国际讨论会。该技术被誉为在分析领域是最具有竞争力的分析手段，在原子谱仪领域内处于领先地位。从整个分析领域看，与质谱仪中的ICP-MS和GDMS、原子吸收谱仪中的ETAAS和EAAS以及中子活化分析NAA等方法相比较，TXRF分析在检出限低、定量性好、用样量少、快速、简便、经济、多元素同时分析等方面有着综合优势。在X荧光谱仪范围内，能谱仪（XRF）和波谱仪（WXRF）在最低检出限、定量性、简便性、准确性、经济性等方面，都明显比TXRF差。在表面分析领域内，尤其在微电子工业的大面积硅片表面质量控制中，TXRF已在国际上得到广泛应用。 1. TXRF分析仪工作原理： TXRF利用全反射技术，会使样品荧光的杂散本底比XRF降低约四个量级，从而大大提高了能量分辨率和灵敏率，避免了XRF和WXRF测量中通常遇到的木底增强或减北效应，大大缩减了定量分析的工作量和工作时间，同时提高了测量的精确度。 测量系统的最低探测限（MDL）可由公式计算： l/M)t/l( 3MDL2/1b? (2) 这里，bl是木底计数率，t为测量计数时间，M为被测量元素质量，l代表被测量元素产生的特征峰净计数率，S=I/M就是系统灵敏度，由公式可以看出，提高灵敏底、降低木底计数率、增加计数时间是降低MDL的有效办法。木氏低、灵敏度高正是TXRF方法的长处，因而MDL很低。 2. TXRF元素分析仪主要性能指标： （1）最低绝对检出限：pg 级（g1012?） （2）最低相对检出限：ng/ml级（910?） （3）单次可用时分析元素数量：20多种： （4）测量元素范围：可以从11号元素到92号元素。 （5）样品用量：μl，μg级； （6）可以进行无损分析； （7）测理时间：一般1000秒； （8）输入功率：小于2kw; （9）从测量操作到分析出结果全部自动化； （10）主体尺寸：180×80×95（高）cm3 3. TXRF元素分析仪结构及特点： TXRF元素分析仪主要包括高压电源与X射线管及其调整结构、双二次全反射光路、样品托传送定位结构、直空系统和数据获取与分析系统等部分。 二次全反射部分是装置的核心。采用双全反射X光路主要为了在不同能量范围都能有较高灵敏度。由于采用特殊的全反射光路，使得装置能在弱 X光束激发下，达到了一般TXRF分析仪在强X光束下才能得到的MDL。当使用Cu靶光管时，CO元素的MDL为3pg;使用Mo靶时，Sr的MDL在9pg左右。X光管激发电压，对Cr靶为20kv，对Cu靶为30kv ，
对Mo靶为50kv,激发电流一般用4-15Ma。 高压电源：采用高频倍压原理设计使得设备小型化，并采用微机控制。提供内控、外控两种控制方式。电压、电流的开启、关闭、大小控制、采样显示完全自动化（详见附件）。 X射线管及其位置调整结构、样品的传输与定位完全实现微机自动控制。设备中有6个进电机驱动柜子产品进出定位。由于系统采用变换装置，单步步长分别为0.15μm-2.5μm,使系统调整具有足够的精度及重要性。通过DA/AD板、接口板、固态继电器板等实现控制信号和模似量的产生、转换与传输，使仪器处于实时监控状态。，上于X光管在工作中发热，设计了水冷却系统，一般状诚下采用循环水或自来水，设有欠水保护，并给出声音报警。 数据获取；采用高分辨率的的Si(Li)探测器，由于优良的半导体工艺及光脉冲反馈前置放大器等使得其其分辨率对Fe 5.9keV 分辨率为160eV。脉冲堆积的高稳定度的谱仪放大器。微机插卡式高速ADC及其接口卡，其AD转换时间为8μs，保证高计数率状态下的获取能力，同时提供良好的积分线性和微分线性，多道分析器能有良好的能量分辨率及线性刻度，接口板上有缓存储器，CPU及相应电池，保证其自主工作，掉电保护数据功能。获取系统具有界面友好的仿真及处理软性相配套（详见附件）。其中探测获取系统配置国际著名公司产品。 软件系统：包括数据获取软件，数据处理分析软件，样品传输定位，X光管上升下降，角度调整用软件，高压电源供电（电压，电流分送），监控软件共四套软件，其中三套为完全中文界面，Win98操作系统下运行的软件，界面友好，功能流畅完善，定性分析形象直观，定量分析快捷准确。
2.利用初级X射线激发待测物质中的原子，使之产生荧光（次级X射线）而进行物质成分分析的仪器。按激发、色散和探测方法的不同，分为X射线光谱法（波长色散）和X射线能谱法（能量色散）。
X射线荧光光谱分析本质上是表面分析。因此，要确保样品表面不受污染。X射线荧光分析是表面分析法，分析深度只有1到几微米。

2.XRF原理

初级X射线与原子发生碰撞时，驱逐出一个内层电子而出现一个空位，使整个原子处于激发态，核外电子自发地由高能态跃迁到低能态，跃迁所产生的的能量以辐射的形式放出，即X射线荧光，其能量等于两能级之间的能量差。由于每种元素原子的电子能级是特征的，它受到激发时产生的X-荧光也是特征的，因此只要测定X射线的能量或者波长就可以判断出原子的种类和元素组成，根据X射线的强度就能定量测定所属元素的含量。
3.XRF基本构造

上：波长色散型：在波长色散X射线荧光光谱仪中，晶体被安装在样品和探测器之间，晶体和探测器按Bragg公式移动，以测量特定波长的荧光X射线。

下：能量色散型

4.XRF应用

金属，合金等元素分析

陶瓷，玻璃，水泥等元素分析

环境元素分析

食品，化学元素分析