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主题：【求助】gatan离子减薄仪

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tem-o
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发表于：2007/10/25 08:56:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我用的离子减薄仪型号是gatan691型，最近发现不能抽真空了，不知出了什么故障，恳请各位大侠帮忙解决，谢谢！
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2007/10/25 11:00:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 tem-o 发表:
我用的离子减薄仪型号是gatan691型，最近发现不能抽真空了，不知出了什么故障，恳请各位大侠帮忙解决，谢谢！


从基本的供电线路查起，开关、泵等电源。
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