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主题：【求助】如何提高FE-SEM的扫描速度

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dancer
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发表于：2007/11/14 10:01:00 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
我们实验室使用的是欧系的FE-SEM，请教各位大虾在图像质量基本不变的情况下，如何提高扫描速度？听说换大的光阑有用处？允许对电镜的硬件做一些可行的改动，或者牺牲一些其他的性能。多谢
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huangtao0307
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2007/11/15 10:26:00 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 dancer 发表:
我们实验室使用的是欧系的FE-SEM，请教各位大虾在图像质量基本不变的情况下，如何提高扫描速度？听说换大的光阑有用处？允许对电镜的硬件做一些可行的改动，或者牺牲一些其他的性能。多谢



??
沒聽說過這說法哦﹗不過光阑大可以有多一點的電子束通過﹗
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磨剪子嘞 锵菜刀
amoslau
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2007/11/15 12:05:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
软件有这个功能，在ScanContrl菜单里面，Variable Scan 直接输入需要的象素点扫描时间Dwell Time（us），即可更改扫描时间！
PS：你用的什么机器？
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zemb
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2007/11/16 13:29:00 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 dancer 发表:
我们实验室使用的是欧系的FE-SEM，请教各位大虾在图像质量基本不变的情况下，如何提高扫描速度？听说换大的光阑有用处？允许对电镜的硬件做一些可行的改动，或者牺牲一些其他的性能。多谢

楼主所说的“图像质量”应该是指信噪比吧。
如果要增大信噪比主要应增大探针电流，有的电镜是靠调整聚光镜电流、有的是靠改变光栏来调整探针电流的。探针电流大，二次电子信号就强，信噪比就高，在较快的扫描速度下也能有较好的图像质量。
但是增大探针电流会增大束斑直径，降低分辨率，这对高放大倍数下图像的清晰度会有影响。综合利弊，难以两全。酌情处理吧。
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