在高真空状态下做不导电样品,对图像质量会有较大影响,轻则雪花增大,信号减弱,重则大面积出现白亮现象,图像漂移、跳动、变形,难以观察。其原因是电子束打到样品上以后,在样品上积累的电荷不能流走,形成了一个附加电场,影响入射电子的运行、二次电子的产生及收集。即使是导电样品,如不能良好的接地,也会有类似现象。该现象对仪器不会造成有害影响,如对图像的质量要求不高,也可凑合着看。对成分分析影响不大,但定位精度难以保证。
解决方法:1、样品表面溅射或蒸镀导电膜;2、选用低真空状态(如果可能);3、减小加速电压和探针电流,减少样品充电。