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主题：【求助】样品表面是曲面可以进行扫描电镜观察吗？

浏览0 回复14 电梯直达
csu_longjia
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发表于：2009/12/15 11:07:27 楼主 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊

请问：
1.样品表面是曲面可以进行扫描电镜观察吗？
2.样品表面经抛光后很光亮是否可以用SEM观察到清晰影像？衬度对比是否会明显？

本人刚接触电镜，用词可能不太专业，如有不当之处，还请大侠们指正，谢谢
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huangtao0307
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2009/12/15 11:42:48 沙发 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
是不是要測樣品表面的粗糙度啊﹖可以通過切片的方式先制樣的.
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csu_longjia
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2009/12/15 13:52:00 板凳 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
不是看表面粗糙度，样品是圆棒，我要看它侧面上的缺陷。
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fengyonghe
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2009/12/15 15:14:53 马扎 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 csu_longjia(csu_longjia) 发表:

请问：
1.样品表面是曲面可以进行扫描电镜观察吗？
2.样品表面经抛光后很光亮是否可以用SEM观察到清晰影像？衬度对比是否会明显？

本人刚接触电镜，用词可能不太专业，如有不当之处，还请大侠们指正，谢谢

两个问题综合起来说：先在显微镜下找到缺陷用碳素笔圈好，放入电镜后由低倍到高倍用选区扫描寻找目标物。这类试样一般要在比较高的倍率下才有更好的对比度。由于是曲面，视场不可能全部聚焦清楚。
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sysmith
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2009/12/15 16:19:15 地毯 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
应该没问题，缺陷尺寸相对于曲面来说不至于影响观察。
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驰奔
srd2009
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2009/12/15 20:09:49 地板 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
这个球球表面算不算曲面？不是看的挺清楚的吗。
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Last edit by srd2009
dongjia1982
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2009/12/15 23:31:17 6楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
好例子，lz说得的事情都不是很难实现的，曲率的问题一般电镜都可以解决，抛光样品需要从低倍开始找一个目标点，然后聚焦清楚后放大，重复，最后完成拍图就可以了。
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fengyonghe
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2009/12/15 23:34:46 7楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
原文由 驰奔(srd2009) 发表:
这个球球表面算不算曲面？不是看的挺清楚的吗。

上面说的曲面是宏观的工件，你这个小球的直径只有7.14μm,应该是清楚的。也是扫描电镜的景深可以满足的。否则断口还怎么看。工件表面能否同时聚焦清楚还与工件直径有很大关系。该工件是圆棒，缺陷的分布一般是纵向的，不会影响缺陷的聚焦。少数情况也有横向分布的缺陷。
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Last edit by fengyonghe
syning90
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2009/12/17 8:42:39 8楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
由于SEM有景深的问题，所以曲面不可能完全聚焦清楚，最好先低倍找到缺陷（低倍时景深也较大）然后在放大观察，注意不平整的东西不要碰到极靴下的探头！

样品抛光了，一样可以进行观察，只要导电性良好
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毒菇九剑
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2009/12/17 21:30:14 9楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
如果看二次电子像，太平了才难拍呢。景深大是SEM的一大优势。
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firesoul119
firesoul119
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2009/12/17 21:43:39 10楼 管理 分享 倒序浏览 只看楼主 回复 私聊
个人建议如下:
    1 可以用光学显微镜先检查目标点,因为光学的最大放大倍率是2000,应该也可以检查出异常区域了;
    2 虽然SEM景深大 且可旋转和倾斜,但为了最佳的观察效果,还是将要观察的区域放在最上端便于观察.
    3 由于SEM与光学显微镜原理不同,样品面在光学镜下反光而光亮(有时觉得反而看不清楚),但在SEM下,抛光的光滑 图象会更清楚,否则在高倍下划痕非常明显,如果划痕的宽度大于要观察的异常区域细节,那就会影响我们的观察了...

    以上,希望对你有帮助!
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